(주)한테크-코팅의 모든것

웨이퍼 전용 Spray LBL (Layer-by-Layer) 다층 코팅장비

Wafer Auto Spray Coater

본 장비는 웨이퍼 전용 Spray LBL (Layer-by-Layer) 다층 코팅장비로써

좌측 챔버 3열 Spray system, 중앙 웨이퍼 자동 로딩 언로딩 시스템 적용(정밀구동 기구를 통해 고정밀도의 동작을 실현)

우측 챔버 3열 Spray system으로 총 6-Nozzle이 적용된 Spray LBL (Layer-by-Layer) 다층 코팅장비

• 사용자 중심의 Interface(조작이 쉽고 단순함)

• Control Display : PLC TOUCH 10인치 Digital Display

• Control Type : Manual & Auto Control

• 웨이퍼 LOADING & UNLOADING 엘리베이터 시스템

• 좌측 챔버 3열 Spray system

• 우측 챔버 3열 Spray system

• Heating Plate : (Temp. Range) +상온℃ ~ max. 450℃

• 초미량부터 정밀분무가 가능, 박막 Coating

• 개별 정밀 정량 마이크로 기어 펌프를 독립 적용하여 정밀 분사가 가능

• 오리피스직경 0.5mm

• Air ATOMIZING (이류체)

• X,Y,Z축 모터엑츄에이터 적용

• 초 저압으로 소량에서 대량 분무 자유자재 대응

• 미립자 분무가 가능하며 토착효율이 좋다

• 사용목적에 따라 nm급 박막도포 가능

• Liquid 공급: 정밀 정량 마이크로 기어펌프

Air 압력 (MPa)	Air 소모량 (l/min)	유체 유량 (l/hr)
0.1	12.0	2.5
0.2	19.0	3.1
0.3	25.0	3.8
0.4	32.0	4.3
0.5	39.0	4.7

• Liquid Pump : 마이크로 기어펌프

• Motor : 5상 stepping 회전수 제어

• Tank Material : SUS

• Tank capacity : 3ℓ

• 주재 Tank & 세정 Tank 각 1EA

• Liquid Supply Line : 압력게이지, 에어 유니트, 드레인밸브등

• Control : Main System 연동

• Control Display : LCD Touch Display (10인치 터치디스플레이 적용)

• Material : SUS, AL(경질 표면처리), Steel(Powder Coating)

• 비상 스위치, 안전장치 설치

• 2류체형 스프레이 시스템 (저압분사방식 )

• 도료 공급 시스템 및 세정라인

• Spray pressure control : Digital Display

• Liquid Tank : 주제 Tank , Tank capacity (3리터) , Material : SUS

• 도료공급 : Magnetic Drive Gear Pump (Air 정압유지)

• 기계의 전반적인 이상이나 안전장치 확인System (오류 Lamp 및 Alarm System)

• 흄가스배기라인, Damper설치

• Vacuum substrate & Heating Plate 모듈

Plate Dimensions : 6인치 웨이퍼 기

Plate Material : 황동

Temp. Range : +상온 ℃ ~ max 400 ℃

Plate size : 400mm(W) × 500mm(L)

• 웨이퍼 자동 LOADING & UNLOADING 시스템

Cassette 웨이퍼 적재

적제된 Glass 웨이퍼 자동 LOADING 시스템 으로 Coating Zone 자동 이송

코팅존 Loading시 Gate Valve 자동개폐

웨이퍼 자동 UNLOADING 시스템 - Coating Zone에서 자동 UNLOADING