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자동 정밀 스프레이 코팅 장비


Auto Spray Coater




본 장치는 각종 연구용으로 개발된 분사 도포 방식의 박막 성형 목적 자동 정밀 Spray Coater로

FPD 각종 제막, MEMS용 PR Coating, 연료전지 및 태양전지, 전극, CNT(탄소나노튜브) 용액을 활용하여.

마이크로 및 나노미터급의 극미세 박막 도포가 가능






• Control Display : LCD Touch Display

• Coating Type : Manual & Auto Control

• Material : SUS, AL(경질 표면처리), Steel(Powder Coating)

• 2류체형 스프레이 시스템 (저압분사방식 )

• Spray Nozzle Speed : ~ Max. 300㎜/sec

• X축 motor-stage(5상 stepping motor)

• Y축 motor-stage(5상 stepping motor)

• Z축 motor-stage(5상 stepping motor)

• Air-Knife 폭 : 300㎜ 장착후 사용가능 (옵션)

• Spray Coating

Spray Coating Space : ~ Max A3

Spray Nozzle : Air Mist Nozzle (오리피스 = ∅0.5 )

이중 분사 Nozzle System

초미량부터 정밀분무가 가능함

• Plate Type : Vacuum & Heating Plate

Plate Dimensions : W503mm × D316mm

Polishing 정밀가공 처리후 경질 표면처리

Suction Hole 직경 : 1.0Ø / Hole 간격 : 20mm

Vacuum Pump : 650mmHg , Set Valve 포함

Temp. Range : +상온 ℃ ~ 180 ℃

• Liquid Tank : 장착형 50ml × 2ea (A용제, B용제)- 외부용액통 옵션가능

• Precision Regulator, 안전 장치


















































1. Spray Nozzle

2. Coating System



• 오리피스직경 0.5mm

• Air ATOMIZING (이류체)

• X,Y,Z축 모터엑츄에이터 적용

• 초 저압으로 소량에서 대량 분무 자유자재 대응

• 미립자 분무가 가능하며 토착효율이 좋다

• 사용목적에 따라 nm급 박막도포 가능

• Liquid 공급: 정밀 정량 마이크로 기어펌프








Air 압력 (MPa)

Air 소모량 (l/min)

유체 유량 (l/hr)

0.1

12.0

2.5

0.2

19.0

3.1

0.3

25.0

3.8

0.4

32.0

4.3

0.5

39.0

4.7




• 정전하 스프레이 코팅 • 외부용액 공급방식 스프레이 코팅





















• 도료공급 시스템

• Liquid Pump :

마이크로 기어펌프

Motor 회전수 제어










구동영상